OVPE法によるホモエピタキシャルGaN厚膜の欠陥構造評価
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Published in | 応用物理学会学術講演会講演予稿集 Vol. 2019.1; p. 3212 |
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Main Authors | , , , , , , , , , , , , , |
Format | Journal Article |
Language | Japanese |
Published |
The Japan Society of Applied Physics
25.02.2019
公益社団法人 応用物理学会 |
Subjects | |
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Bibliography: | 応用物理学会春季学術講演会 12a-W541-8 |
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ISSN: | 2436-7613 2436-7613 |
DOI: | 10.11470/jsapmeeting.2019.1.0_3212 |