フェムト秒レーザによるダイヤモンドライクカーボン膜への周期構造形成（形成メカニズムの考察）

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Published in日本機械学会論文集 Vol. 80; no. 817; p. SMM0250
Main Authors 千徳, 英介, 峠, 正範, 岩井, 善郎
Format Journal Article
LanguageJapanese
Published 一般社団法人 日本機械学会 2014
Subjects
DLC
Femtosecond laser
Laser texturing
Nanostructure
Plasma wave
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ISSN:2187-9761
DOI:10.1299/transjsme.2014smm0250