回折光プローブによる 6自由度位置姿勢計測
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Published in | 精密工学会誌論文集 Vol. 72; no. 6; pp. 778 - 784 |
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Main Authors | , |
Format | Journal Article |
Language | Japanese |
Published |
公益社団法人 精密工学会
2006
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ISSN | 1348-8724 1881-8722 |
DOI | 10.2493/jspe.72.778 |
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ISSN: | 1348-8724 1881-8722 |
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DOI: | 10.2493/jspe.72.778 |