VHF駆動によるマイクロプラズマの生成技術とマイクロ化学分析システムへの応用
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Published in | 応用物理 Vol. 70; no. 4; pp. 452 - 453 |
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Main Authors | , |
Format | Journal Article |
Language | Japanese |
Published |
公益社団法人 応用物理学会
2001
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ISSN | 0369-8009 2188-2290 |
DOI | 10.11470/oubutsu1932.70.452 |
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ISSN: | 0369-8009 2188-2290 |
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DOI: | 10.11470/oubutsu1932.70.452 |