VHF駆動によるマイクロプラズマの生成技術とマイクロ化学分析システムへの応用

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Published in応用物理 Vol. 70; no. 4; pp. 452 - 453
Main Authors 堀池, 靖浩, 一木, 隆範
Format Journal Article
LanguageJapanese
Published 公益社団法人 応用物理学会 2001
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ISSN0369-8009
2188-2290
DOI10.11470/oubutsu1932.70.452

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ISSN:0369-8009
2188-2290
DOI:10.11470/oubutsu1932.70.452