Se分子線と水素ラジカルを用いたGaAsのエッチング

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Published in応用物理 Vol. 64; no. 2; pp. 155 - 156
Main Authors 高谷, 信一部, 紀川, 健
Format Journal Article
LanguageJapanese
Published 公益社団法人 応用物理学会 1995
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ISSN:0369-8009
2188-2290
DOI:10.11470/oubutsu1932.64.155