液滴エビタキシー法によるGaAs量子ドットの作製
液滴エピタキシー法によるGaAs量子ドツトの作製に関する最近の研究成果を紹介する.この方法の特徴は,結晶成長のみの簡単なプロセスで,大きさの良くそろった極微細構造を加工損傷に自己形成的に作れ,またStranski-Kraatanov型の成長機構に基づく量子ドットの自己形成的な作製法と異なり, GaAs-GaAlAsのような格子整合系にも適用できることである....
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Published in | 応用物理 Vol. 65; no. 9; pp. 926 - 930 |
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Main Author | |
Format | Journal Article |
Language | Japanese |
Published |
公益社団法人 応用物理学会
1996
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Online Access | Get full text |
ISSN | 0369-8009 2188-2290 |
DOI | 10.11470/oubutsu1932.65.926 |
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Summary: | 液滴エピタキシー法によるGaAs量子ドツトの作製に関する最近の研究成果を紹介する.この方法の特徴は,結晶成長のみの簡単なプロセスで,大きさの良くそろった極微細構造を加工損傷に自己形成的に作れ,またStranski-Kraatanov型の成長機構に基づく量子ドットの自己形成的な作製法と異なり, GaAs-GaAlAsのような格子整合系にも適用できることである. |
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ISSN: | 0369-8009 2188-2290 |
DOI: | 10.11470/oubutsu1932.65.926 |