装置・手法としての可能性と限界

21世紀へ向けて,ナノスケールの科学・技術の基礎となっていくであろう走査型トンネル顕微鏡とその関連技術の基礎を装置作製の立場から解説する.単なる入門編ではなく,技術的ノウハウを織り込みながら,問題点・可能性などを指摘する....

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Published in応用物理 Vol. 69; no. 4; pp. 435 - 438
Main Authors 富取, 正彦, 新井, 豊子
Format Journal Article
LanguageJapanese
Published 公益社団法人 応用物理学会 2000
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Summary:21世紀へ向けて,ナノスケールの科学・技術の基礎となっていくであろう走査型トンネル顕微鏡とその関連技術の基礎を装置作製の立場から解説する.単なる入門編ではなく,技術的ノウハウを織り込みながら,問題点・可能性などを指摘する.
ISSN:0369-8009
2188-2290
DOI:10.11470/oubutsu1932.69.435