気相成長法

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Published in応用物理 Vol. 53; no. 1; p. 28
Main Author 井原, 賢
Format Journal Article
LanguageJapanese
Published 公益社団法人 応用物理学会 1984
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ISSN:0369-8009
2188-2290
DOI:10.11470/oubutsu1932.53.28