薄膜の屈折率異方性の高速測定方法

• Published in: 日本液晶学会討論会講演予稿集 p. 185
• Main Authors: 田ノ岡, 大輔, 宮下, 哲哉, 内田, 龍男, 広沢, 一郎
• Format: Journal Article
• Language: Japanese
• Published: 一般社団法人 日本液晶学会 2005
• Subjects: エリプソメトリ; 光学異方性; 分子配向; 配向膜
• ISSN: 1880-3490; 2432-5988
• DOI: 10.11538/ekitou.2005.0.185.0

液晶デバイスの液晶分子配向は、配向膜の分子配向の影響を受ける。この薄膜の分子配向測定法としてエリプソメトリが広く使われているが、1点あたり1分以上の測定時間を要するという欠点がある。そこで、新たに、第１ステップで光学軸の方位と極角を求め、第２ステップで屈折率と厚さを求める新しい方法を考案した。この方法により20倍以上の高速化に成功した。