超音波援用によるガラスの小径ドリル加工に関する研究 第1報：超音波援用が穴加工精度に及ぼす影響

半導体製造装置や医療機器においては，φ1mmに満たない微細穴をガラスなどの脆性材料に高精度かつ高能率に加工する技術が要求されている．ガラスなどの硬脆材料は，一般的には切削加工が困難とされるが，切削加工での加工実用化に対する要望は大きい．これらの要望に応えるため本研究では，ガラス材料に対し，超音波援用切削法を適用したφ0.3mmのドリル加工を行い，工具接触直後の工具振れ回り軌道および切削抵抗に関して計測および評価を行った．その結果，超音波援用切削時は工具食いつき時のらせん状の切削抵抗が消滅することが判明し，加工穴の位置決め精度が慣用加工に比べて向上することがわかった．...

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Published inJournal of the Japan Society for Abrasive Technology Vol. 61; no. 11; pp. 594 - 599
Main Authors 石黒, 輝雄, 佐野, 正明, 米山, 陽, 清水, 毅, 石井, 孝明
Format Journal Article
LanguageJapanese
Published Tokyo 社団法人 砥粒加工学会 01.11.2017
Japan Science and Technology Agency
Subjects
Brittle materials
Cutting force
Cutting parameters
Cutting resistance
Drilling
Drilling machines (tools)
Medical equipment
Ultrasonic methods
Ultrasonic testing
Ultrasonic vibration
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ISSN0914-2703
1880-7534
DOI10.11420/jsat.61.594

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Summary:半導体製造装置や医療機器においては，φ1mmに満たない微細穴をガラスなどの脆性材料に高精度かつ高能率に加工する技術が要求されている．ガラスなどの硬脆材料は，一般的には切削加工が困難とされるが，切削加工での加工実用化に対する要望は大きい．これらの要望に応えるため本研究では，ガラス材料に対し，超音波援用切削法を適用したφ0.3mmのドリル加工を行い，工具接触直後の工具振れ回り軌道および切削抵抗に関して計測および評価を行った．その結果，超音波援用切削時は工具食いつき時のらせん状の切削抵抗が消滅することが判明し，加工穴の位置決め精度が慣用加工に比べて向上することがわかった．
Bibliography:ObjectType-Article-1
SourceType-Scholarly Journals-1
ObjectType-Feature-2
content type line 14
ISSN:0914-2703
1880-7534
DOI:10.11420/jsat.61.594