低気圧誘導結合型プラズマによる半導体製造装置排ガス CF4 の分解 運転条件の最適化と反応生成物の分析

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Published in日本機械学会論文集 B編 Vol. 70; no. 692; pp. 1058 - 1063
Main Authors 黒木, 智之, 佐伯, 登, 大久保, 雅章, 山本, 俊昭
Format Journal Article
LanguageJapanese
Published 一般社団法人 日本機械学会 2004
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ISSN:0387-5016
1884-8346
DOI:10.1299/kikaib.70.1058