結晶組織に起因する銅配線の界面強度分布の試験片寸法効果

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Published in日本機械学会論文集Ａ編 Vol. 79; no. 799; pp. 354 - 358
Main Authors 小岩, 康三, 神谷, 庄司, 鈴木, 貴志, 佐藤, 尚, 陳, 伝彤, 宍戸, 信之, 野久, 尾毅, 西田, 政弘, 中村, 友二, 大宮, 正毅, 鈴木, 俊明
Format Journal Article
LanguageJapanese
Published 一般社団法人 日本機械学会 2013
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ISSN1884-8338
DOI10.1299/kikaia.79.354

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ISSN:1884-8338
DOI:10.1299/kikaia.79.354