アンモニア水から発生する蒸気への室温での曝露によるペルヒドロポリシラザン薄膜からシリカ薄膜への転化

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Published inJournal of the Ceramic Society of Japan (日本セラミックス協会学術論文誌) Vol. 114; no. 1330; pp. 517 - 523
Main Authors 久保, 朋子, 幸塚, 広光
Format Journal Article
LanguageJapanese
Published 公益社団法人 日本セラミックス協会 2006
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ISSN:0914-5400
1882-1022
DOI:10.2109/jcersj.114.517