前駆体ポリカルボシランをマイクロポーラス炭化ケイ素系膜に変換する際の構造変化

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Published inJournal of the Ceramic Society of Japan (日本セラミックス協会学術論文誌) Vol. 114; no. 1330; pp. 539 - 544
Main Authors 須田, 洋幸, 山内, 洋幸, 内丸, 祐子, 藤原, 一郎, 原谷, 賢治
Format Journal Article
LanguageJapanese
Published 公益社団法人 日本セラミックス協会 2006
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ISSN:0914-5400
1882-1022
DOI:10.2109/jcersj.114.539