低エネルギーオージェ電子分光法によるコバルト-ニッケル合金の定量分析

オージェ電子分光法により表面感度の高い低エネルギーピークを用い,Co-Ni合金の定量分析について検討した.Co-Ni合金のCo及びNiの低エネルギーオージェスペクトルは重複して観測される.その重複ピークはCo濃度が高くなるにつれて高エネルギー側にピークシフトを起こしていた.しかし,ピーク合成法を用いることにより両者は定量的に分離することができ,定量分析は可能であった.又,バックグラウンドの除去法として一次微分,二次微分及びtop-hatフィルターの3種類について比較したが,差はほとんどなく,いずれのフィルターを用いても十分にバックグラウンドを除去することができた.又,定量した表面のCo濃度は,...

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Published in分析化学 Vol. 41; no. 11; pp. 533 - 537
Main Authors 田沼, 繁夫, 原田, 朋子
Format Journal Article
LanguageJapanese
Published 公益社団法人 日本分析化学会 05.11.1992
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ISSN0525-1931
DOI10.2116/bunsekikagaku.41.11_533

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Abstract オージェ電子分光法により表面感度の高い低エネルギーピークを用い,Co-Ni合金の定量分析について検討した.Co-Ni合金のCo及びNiの低エネルギーオージェスペクトルは重複して観測される.その重複ピークはCo濃度が高くなるにつれて高エネルギー側にピークシフトを起こしていた.しかし,ピーク合成法を用いることにより両者は定量的に分離することができ,定量分析は可能であった.又,バックグラウンドの除去法として一次微分,二次微分及びtop-hatフィルターの3種類について比較したが,差はほとんどなく,いずれのフィルターを用いても十分にバックグラウンドを除去することができた.又,定量した表面のCo濃度は,バルク濃度とよく一致した.
AbstractList オージェ電子分光法により表面感度の高い低エネルギーピークを用い,Co-Ni合金の定量分析について検討した.Co-Ni合金のCo及びNiの低エネルギーオージェスペクトルは重複して観測される.その重複ピークはCo濃度が高くなるにつれて高エネルギー側にピークシフトを起こしていた.しかし,ピーク合成法を用いることにより両者は定量的に分離することができ,定量分析は可能であった.又,バックグラウンドの除去法として一次微分,二次微分及びtop-hatフィルターの3種類について比較したが,差はほとんどなく,いずれのフィルターを用いても十分にバックグラウンドを除去することができた.又,定量した表面のCo濃度は,バルク濃度とよく一致した.
Author 原田, 朋子
田沼, 繁夫
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References 9) S. Tanuma, C. J. Powell, D. R. Penn : Surf Interface Anal., 17,911 (1991).
1) 原田朋子, 田沼繁夫 : 分析化学, 40,711(1991).
5) 関根 哲 : 学位論文(大阪大学).p.34(1989).
2) 志水隆一他 : "表面化学分析作業部会報告, オージェ電子分光法の定量化", p.58(1989).
6) A. Savitzky, M. J. E. Golay : Anal. Chem., 36, 1627 (1964).
7) 南 茂夫編著 : "科学計測のための波形データ処理"(1986)(CQ出版
8) S. Ichimura, R. Shimizu, J. P. Langeron : Surf Sci., 124, L49 (1983).
3) F. H. Schamber : "X-ray Fluorescence Analysis of Environmental Samples", Edited by T. G. Dzubay, p.241(Ann Arbor, Michigan), (1977);関根 哲, 大阪大学学位論文(1989).
4) 吉原一絃 : "表面化学分析作業部会報告, 電子分光法の高精度化", p.21(1991).
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