原子層エピタキシー法によるInN半導体薄膜
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Published in | 日本金属学会会報 Vol. 32; no. 9; pp. 613 - 615 |
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Main Authors | , , |
Format | Journal Article |
Language | Japanese |
Published |
社団法人 日本金属学会
20.09.1993
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ISSN | 0021-4426 1884-5835 |
DOI | 10.2320/materia1962.32.613 |
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ISSN: | 0021-4426 1884-5835 |
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DOI: | 10.2320/materia1962.32.613 |