高周波マグネトロンスパッタリング法における Pb(Zr,Ti)O3 膜のターゲット依存性
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Published in | Journal of the Vacuum Society of Japan Vol. 51; no. 3; pp. 118 - 120 |
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Main Authors | , , |
Format | Journal Article |
Language | Japanese |
Published |
一般社団法人 日本真空学会
2008
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ISSN: | 1882-2398 1882-4749 |
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DOI: | 10.3131/jvsj2.51.118 |