光学式非接触プローブの研究 (第2報) 小型一体化プローブ
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Published in | 精密機械 Vol. 51; no. 12; pp. 2271 - 2276 |
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Main Authors | , |
Format | Journal Article |
Language | Japanese |
Published |
公益社団法人 精密工学会
05.12.1985
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ISSN: | 0374-3543 |
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DOI: | 10.2493/jjspe1933.51.2271 |