揺動速度制御型連続研削・研磨装置の開発（第2報） 研削による軸対称形状創成と揺動速度制御研磨による形状修正

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Published in精密工学会誌論文集 Vol. 70; no. 8; pp. 1096 - 1100
Main Authors 宇根, 篤暢, 杉浦, 秀樹, 吉冨, 健一郎, 餅田, 正秋
Format Journal Article
LanguageJapanese
Published 公益社団法人 精密工学会 05.08.2004
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ISSN:1348-8724
1881-8722
DOI:10.2493/jspe.70.1096