電子ビーム転写装置用超電導集束磁界コイル

Saved in:
Bibliographic Details
Published in低温工学 Vol. 17; no. 3; pp. 148 - 157
Main Authors 佐野, 俊一, 森, 一朗, 豊田, 隆, 堀, 光平, 中山, 宜長, 三根, 進, 篠崎, 俊昭
Format Journal Article
LanguageEnglish
Published 公益社団法人 低温工学・超電導学会 (旧 社団法人 低温工学協会) 25.06.1982
Online AccessGet full text
ISSN0389-2441
1880-0408
DOI10.2221/jcsj.17.148

Cover

More Information
ISSN:0389-2441
1880-0408
DOI:10.2221/jcsj.17.148