Verbessertes Kaltkathoden-Ionisationsmanometer mit verlängerter Lebensdauer

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Published inVakuum in Forschung und Praxis : Zeitschrift für Vakuumtechnologie, Oberflèachen und Dünne Schichten Vol. 18; no. 6; pp. 12 - 17
Main Authors Wilfert, Stefan, Edelmann, Christian
Format Journal Article
LanguageGerman
Published Weinheim WILEY-VCH Verlag 01.12.2006
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ISSN0947-076X
1522-2454
DOI10.1002/vipr.200600304

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Bibliography:ArticleID:VIPR200600304
ark:/67375/WNG-8BLRVJ0R-2
istex:F263045F24999C8395C1CC55E1D056FE0F179EC4
ISSN:0947-076X
1522-2454
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