Die Herstellung von Reinstsiliciumscheiben Mehr Chemie als man glaubt

• Published in: Chemie in unserer Zeit Vol. 37; no. 3; pp. 198 - 208
• Main Authors: Crössmann, Ivo, Storck, Peter, Hohl, Georg, Wenski, Guido
• Format: Journal Article
• Language: German
• Published: Weinheim WILEY-VCH Verlag 01.06.2003
• Subjects: Bauelement; Beschichtung; Chemie; Elektronik; Naturwissenschaften; Reinstoff; Reinstsilicium; Sachinformation; Silicium; Siliciumwafer

Einkristalline Halbleiterscheiben aus Silicium stellen die Grundlage für mikroelektronische Bauelemente dar. Die Umwandlung des Ausgangsmaterials Quarz in eine epitaktisch beschichtete 300-mm-Scheibe umfasst eine Vielzahl von Prozesschritten, die teilweise deutlich von chemischen Verfahren geprägt s...