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Published inVakuum in Forschung und Praxis : Zeitschrift für Vakuumtechnologie, Oberflèachen und Dünne Schichten Vol. 24; no. 2; p. 3
Main Author Hagedorn, Harro
Format Journal Article
LanguageEnglish
Published Weinheim WILEY‐VCH Verlag 01.04.2012
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ISSN:0947-076X
1522-2454
DOI:10.1002/vipr.201290015