一种用于预估MOCVD工艺结果的改进方法

Apriori算法是关联规则中的一种典型算法。该算法结构简单，以递归统计为基础，采用逐层搜索的方式对大量数据进行提取，挖掘数据记录之间的关联规则。针对Apriori算法产生候选记录集过多的问题．提出了一种改进方法减少候选记录集的组合个数。一项MOCVD工艺包含了流量、压力、温度等多种实时数据，数据量庞大，根据改进方法对MOCVD工艺中所产生的实时数据以及操作记录进行分析、挖掘出这些数据记录之间的关联关系；然后根据MOCVD工艺结果．判断这些关联关系对MOCVD工艺的影响，并作为下一次工艺数据编辑的依据。...

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Published in电子工业专用设备 Vol. 44; no. 8; pp. 10 - 14
Main Author 陈立宁 林伯奇 魏唯 胡晓宇
Format Journal Article
LanguageChinese
Published 中国电子科技集团公司第四十八研究所,湖南长沙,410111 2015
Subjects
Apriori算法
MOCVD
候选记录集
关联规则
Apriori算法
候选记录集
MOCVD
关联规则
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Summary:Apriori算法是关联规则中的一种典型算法。该算法结构简单，以递归统计为基础，采用逐层搜索的方式对大量数据进行提取，挖掘数据记录之间的关联规则。针对Apriori算法产生候选记录集过多的问题．提出了一种改进方法减少候选记录集的组合个数。一项MOCVD工艺包含了流量、压力、温度等多种实时数据，数据量庞大，根据改进方法对MOCVD工艺中所产生的实时数据以及操作记录进行分析、挖掘出这些数据记录之间的关联关系；然后根据MOCVD工艺结果．判断这些关联关系对MOCVD工艺的影响，并作为下一次工艺数据编辑的依据。
Bibliography:62-1077/TN
Apriori algorithm; MOCVD; Association rule; Candidate record set
CHEN Lining, LIN Boqi, WEI Wei, HU Xiaoyu （The 48th Research Institute of CETC, Changsha 410111, China）
Apriori algorithm is one of the classical algorithms about association rules, which is based on recursion and very simple. This method extracts data by layer-by-layer search and deduces the association rule. An improved method is mentioned to reduce the amount of candidate recordsets in connection with lots of candidate record sets generated by Apriori algorithm. So much real time data like flow, pressure, temperature and so on is available in a MOCVD recipe. The rcipe data is analyzed in a MOCVD recipe with this improved method and the association rule is deduced in this dissertation. This association rule deduced by this method can be used to evaluate a MOCVD recipe and become reference for the next recipe.
ISSN:1004-4507