AFM/SCM及LBIC技术在平面型保护环结构InGaAs探测器设计中的应用

• Published in: Hong wai yu hao mi bo xue bao Vol. 29; no. 6; pp. 401 - 405
• Main Author: 李永富 唐恒敬 朱耀明 李淘 殷豪 李天信 李雪 龚海梅
• Format: Journal Article
• Language: Chinese
• Published: 中国科学院上海技术物理研究所,中国科学院红外成像材料与器件重点实验室,上海,200083 2010; 中国科学院上海技术物理研究所,中国科学院红外成像材料与器件重点实验室,上海,200083%中国科学院上海技术物理研究所,红外物理国家重点实验室,上海,200083; 中国科学院研究生院,北京,100039%中国科学院上海技术物理研究所,传感技术国家重点实验室,上海,200083; 中国科学院上海技术物理研究所,传感技术国家重点实验室,上海,200083
• Subjects: InP/InGaAs; 保护环; 光生载流子扩散; 扫描电容显微镜（SCM）; 激光束诱导电流（LBIC）; 保护环; photo-carrier diffusion; 激光束诱导电流(LBIC); guard-ring; InP/InGaAs; laser beam induced current(LBIC); 扫描电容显微镜(SCM); 光生载流子扩散; scanning capacitance microscopy(SCM)
• ISSN: 1001-9014

为研究保护环结构对平面型正照射式InP/InGaAs探测器光敏元扩大现象的抑制作用,设计并研制了带有不同保护环-光敏元间距的InGaAs探测器.通过原子力显微镜（AFM）及扫描电容显微镜（SCM）获得了保护环与光敏元之间的实际距离.利用激光束诱导电流（LBIC）技术研究了带有保护环结构的InGaAs探测器的光响应特性.研究表明,无保护环结构的探测器的LBIC信号可以用指数衰减函数描述,而带有保护环结构的探测器的LBIC信号则遵从高斯分布.引入保护环结构后,器件光敏元的扩大量会随着保护环-光敏元间距的减小而线性减小.在器件设计中,比较合适的保护环-光敏元间距应介于7~12μm之间.