电感耦合等离子体离子源气体温度特性数值模拟分析

• Published in: 质谱学报 Vol. 38; no. 5; pp. 521 - 525
• Main Author: 岳东宁 赵军 马燕云 徐江 粟永阳 汪伟 袁祥龙 李志明
• Format: Journal Article
• Language: Chinese
• Published: 国防科学技术大学理学院,湖南长沙,410073%国防科学技术大学理学院,湖南长沙410073 2017; 西北核技术研究所,陕西西安710024%西北核技术研究所,陕西西安,710024
• Subjects: 数值模拟; 气体温度; 电感耦合; 采样锥; sampler cone; gas temperature; 气体温度; 采样锥; 数值模拟; inductively coupled plasma; numerical simulation; 电感耦合
• ISSN: 1004-2997
• DOI: 10.7538/zpxb.2016.0061

采用以流场为主耦合电磁场的计算流体力学方法分析ICP离子源的温度特性,并比较加载采样锥前后其温度特性的变化。由于采样锥和炬管构成了相对封闭的空间,加载采样锥后大部分区域温度偏高。在采样锥附近等离子体通道效应明显,中心通道温度从25mm附近开始急剧上升到8 000K左右,在采样锥口前1mm左右急剧下降到6 000K左右。用Discrete Phase Model（DPM）模型分析了不同直径气溶胶颗粒对中心通道气体温度的影响,发现颗粒直径太大会影响中心通道气体温度的稳定性,而直径几微米的气溶胶颗粒电离效率较高。