基于LabVIEW面向对象的TOF-SIMS仪器控制软件

• Published in: 质谱学报 Vol. 38; no. 5; pp. 591 - 598
• Main Author: 郑瀛 范润龙 张玉海 邱春玲 刘敦一 田地
• Format: Journal Article
• Language: Chinese
• Published: 吉林大学仪器科学与电气工程学院,吉林长春,130021%中国地质科学院地质研究所,北京离子探针中心,北京102206 2017
• Subjects: LabVIEW; 控制软件; 面向对象; 飞行时间二次离子质谱仪（TOF-SIMS）; 面向对象; control software; 控制软件; time of flight secondary ion mass spectrometer (TOF-SIMS); 飞行时间二次离子质谱仪(TOF-SIMS); object oriented programming; LabVIEW
• ISSN: 1004-2997
• DOI: 10.7538/zpxb.youxian.2016.0064

飞行时间二次离子质谱仪（TOF-SIMS）作为一种重要的表面分析工具被广泛应用,本研究为其开发了一套仪器控制软件。基于LabVIEW面向对象方法建立了仪器部件控制类库,结合消息驱动机制完成了软件结构设计。所开发的软件能够实现对离子光学系统、真空系统和三维样品台等仪器子系统的部件控制。应用该软件控制仪器进行了锆石样品的TOF-SIMS实验,完成了锆石样品谱图的获取,结果表明,该软件能够满足仪器对控制软件的要求。此外,软件结构具有良好的可重用性和可扩展性,以及硬件更改对软件影响小等优点,该软件设计方法可用于类似仪器控制软件的开发。