电子能量损失谱仪用中高能电子枪的研制

研制了一台电子能量损失谱仪用的中高能电子枪。其产生的电子与原子、分子发生碰撞，通过谱仪收集、分析散射电子的动量和能量，可以获得靶的电子结构和碰撞动力学信息。该电子枪结构简单，由热阴极、栅极、阳极、聚焦极和偏转板组成；电子能量可调范围大（1-3keY），操作简单。为了获得最优的束流条件，利用SIMION电子光学软件模拟了电子发射源大小和初始发散角对靶点处的束斑大小和束流发散角的影响。在电子能量为1．5keV条件下，实验检验给出在离电子枪出口27mm处可获得束径约为0．95min、束流发散角约0．93。和束流强度6．27uA的电子束，满足电子能量损失谱仪的使用要求。...

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Published in核技术 Vol. 40; no. 5; pp. 6 - 11
Main Author 陈昕 徐卫青 徐龙泉 田红春 刘亚伟 朱林繁
Format Journal Article
LanguageChinese
Published 中国科学技术大学近代物理系合肥微尺度物质科学国家实验室 合肥 230026%蚌埠学院理学院 蚌埠 233030 2017
Subjects
发散角
束流强度
热阴极
电子光学
电子枪
电子能量损失谱仪
热阴极
电子光学
电子能量损失谱仪
Electron gun
发散角
Beam current
Electron optics
Electron energy-loss spectrometer
电子枪
Thermionic cathode
束流强度
Divergence angle
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ISSN0253-3219
DOI10.11889/j.0253-3219.2017.hjs.40.050102

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Summary:研制了一台电子能量损失谱仪用的中高能电子枪。其产生的电子与原子、分子发生碰撞，通过谱仪收集、分析散射电子的动量和能量，可以获得靶的电子结构和碰撞动力学信息。该电子枪结构简单，由热阴极、栅极、阳极、聚焦极和偏转板组成；电子能量可调范围大（1-3keY），操作简单。为了获得最优的束流条件，利用SIMION电子光学软件模拟了电子发射源大小和初始发散角对靶点处的束斑大小和束流发散角的影响。在电子能量为1．5keV条件下，实验检验给出在离电子枪出口27mm处可获得束径约为0．95min、束流发散角约0．93。和束流强度6．27uA的电子束，满足电子能量损失谱仪的使用要求。
Bibliography:Electron gun, Thermionic cathode, Electron optics, Divergence angle, Beam current, Electron energy-loss spectrometer
CHEN Xin1 XU Weiqing2 XU Longquan1 TIAN Hongchun1 LIU Yawei1 ZHU Linfan1 1 （Hefei National Laboratory for Physical Sciences at Mieroscale and Department of Modern Physics University of Science and Technology of China, Hefei 230026, China） 2（SchoolofScience, BengbuUniversity, Bengbu 233030, China）
31-1342/TL
Background： In an electron energy-loss spectroscopy （EELS） experiment, the electron emitted by the electron gun collides with atoms and molecules, and the momentum and energy of the scattered electron are analyzed by EELS, then the information of electronic structure and collision dynamics of the target can be deduced. Purpose： A well designed intermediate-high energy electron gun with small beam size and divergence angle is needed to satisfy the requirement of EELS. Methods： To obtain the optimal beam condition, the electron optics software SIMION was utilized to simulate the space size and di
ISSN:0253-3219
DOI:10.11889/j.0253-3219.2017.hjs.40.050102