用规整膜板对砷化镓的三维微结构图形加工刻蚀

O646; 以微齿轮图形结构作为规整模板,用约束刻蚀剂层技术对GaAs样品表面进行了加工刻蚀.在有捕捉剂H3AsO3存在的情况下,规则微齿轮图形能够很好地在样品表面复制.刻蚀结果与没有捕捉剂存在时的刻蚀结果做了比较.另外还测试了不同方法制得膜板的性能,初步探讨了电化学模板的制作工艺....

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Published in电化学 Vol. 6; no. 3; pp. 253 - 257
Main Authors 黄海苟, 孙建军, 叶雄英, 蒋利民, 罗瑾, 卢泽生, 董申, 田中群, 周兆英, 田昭武
Format Journal Article
LanguageChinese
Published 厦门大学,固体表面物理化学国家重点实验室,化学系,物理化学研究所,福建,厦门,361005%清华大学精密仪器系,北京,100084%哈尔滨工业大学精密工程研究所,黑龙江,哈尔滨,150001 2000
Subjects
约束刻蚀剂层技术
微加工
GaAs
捕捉剂
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ISSN1006-3471
DOI10.3969/j.issn.1006-3471.2000.03.001

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Summary:O646; 以微齿轮图形结构作为规整模板,用约束刻蚀剂层技术对GaAs样品表面进行了加工刻蚀.在有捕捉剂H3AsO3存在的情况下,规则微齿轮图形能够很好地在样品表面复制.刻蚀结果与没有捕捉剂存在时的刻蚀结果做了比较.另外还测试了不同方法制得膜板的性能,初步探讨了电化学模板的制作工艺.
ISSN:1006-3471
DOI:10.3969/j.issn.1006-3471.2000.03.001