Entwicklung einer Kalibrierrichtlinie für Rastersondenmikroskope (Development of a Calibration Guideline for Scanning Probe Microscopes)

Nicht nur in Forschung und Entwicklung, sondern auch zunehmend in der industriellen Fertigung kommen immer kleinere funktionelle Strukturen bis hin zu nanotechnologischen Komponenten zum Einsatz. Dadurch erlangt die Rastersondenmikroskopie auch als quantitatives Messverfahren wachsende Bedeutung und...

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Published inTechnisches Messen Vol. 72; no. 5; pp. 295 - 307
Main Authors Dziomba, Thorsten, Koenders, Ludger, Wilkening, Günter, Flemming, Marcel, Duparré, Angela
Format Journal Article
LanguageEnglish
Published Oldenbourg Wissenschaftsverlag GmbH 01.05.2005
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Summary:Nicht nur in Forschung und Entwicklung, sondern auch zunehmend in der industriellen Fertigung kommen immer kleinere funktionelle Strukturen bis hin zu nanotechnologischen Komponenten zum Einsatz. Dadurch erlangt die Rastersondenmikroskopie auch als quantitatives Messverfahren wachsende Bedeutung und damit die Frage, wie diese Geräte zu kalibrieren sind. Dieser Bericht zielt deshalb darauf ab, den gegenwärtigen Stand der Diskussionen zu einer zukünftigen Kalibrierrichtlinie zusammenzufassen und somit ein mögliches Schema für die quantitative Charakterisierung von SPM-Messsystemen vorzustellen. Kritische Punkte werden dabei teilweise auch anhand von praktischen Beispielen diskutiert.
ISSN:0171-8096
2196-7113
DOI:10.1524/teme.72.5.295.64806