氧等离子处理的二硫化钼场效应晶体管表面掺杂和湿度传感研究 - 江海洋; 吴静远; 温朝阳; 郭冰博 (东华大学学报（英文版）, 2024)
Keywords: 湿度传感; 氧等离子体; oxygen plasma; 场效应晶体管(FET); 表面掺杂; field-effect transistor(FET); 二硫化钼(MoS2); humidity sensing; molybdenum disulfide(MoS2); surface doping