Pr6O11对合成金刚石单晶各向异性的刻蚀 - 朱振东; 肖长江; 马金明; 栗正新 (材料工程, 2022)
Keywords: 各向异性刻蚀; 刻蚀机理; 氧化镨; 性能; 金刚石单晶