沟槽栅IGBT制备中的翘曲控制 - 夏碧波; 蔡乐; 张鸿鑫; 魏宏杰; 彭新华; 谭灿健 (半导体技术, 2025)
Keywords: 工艺优化; IGBT; 多晶硅; 翘曲控制; process optimization; 铝金属; Al metal; polysilicon; warpage control