원자층 증착법에 의한 Al₂O₃ 박막 형성에 따른 모스아이 구조 반사방지 필름의 기계적 물성에 미치는 영향
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Published in | Biuletyn Uniejowski Vol. 48; no. 2; pp. 50 - 55 |
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Main Authors | , , , , , |
Format | Journal Article |
Language | Korean |
Published |
한국표면공학회
2015
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