PIEZOELECTRIC VIBRATION ELEMENT

• Main Author: NISHIMURA, Toshio
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 17.10.2024
• Subjects: BASIC ELECTRONIC CIRCUITRY; ELECTRICITY; IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS

This piezoelectric vibration element comprises a piezoelectric piece and an excitation electrode that overlap in the thickness direction, and includes a high acoustic velocity region and a low acoustic velocity region having a lower acoustic velocity than the high acoustic velocity region. In a plan view in the thickness direction, the high acoustic velocity region is provided in a region overlapping the center portion of the excitation electrode, and the low acoustic velocity region is provided in at least a portion of a region overlapping an end of the excitation electrode. A plurality of holes that make the mass per unit area of the high acoustic velocity region smaller than the mass per unit area of the low acoustic velocity region are formed on the excitation electrode in the high acoustic velocity region. In one direction intersecting the thickness direction, the size in one direction of a section of the low acoustic velocity region adjacent to the high acoustic velocity region is smaller than the size of the high acoustic velocity region in one direction. In a plan view in the thickness direction, the surface area of the low acoustic velocity region is smaller than the surface area of the high acoustic velocity region. La présente divulgation concerne un élément de vibration piézoélectrique qui comprend une pièce piézoélectrique et une électrode d'excitation qui se chevauchent dans la direction de l'épaisseur, et comprend une région de vitesse acoustique élevée et une région de vitesse acoustique faible ayant une vitesse acoustique inférieure à celle de la région de vitesse acoustique élevée. Dans une vue en plan dans la direction de l'épaisseur, la région de vitesse acoustique élevée est disposée dans une région chevauchant la partie centrale de l'électrode d'excitation, et la région de vitesse acoustique faible est disposée dans au moins une partie d'une région chevauchant une extrémité de l'électrode d'excitation. Une pluralité de trous qui rendent la masse par unité de surface de la région de vitesse acoustique élevée plus petite que la masse par unité de surface de la région de vitesse acoustique faible sont formés sur l'électrode d'excitation dans la région de vitesse acoustique élevée. Dans une direction croisant la direction de l'épaisseur, la taille dans une direction d'une section de la région de vitesse acoustique faible adjacente à la région de vitesse acoustique élevée est inférieure à la taille de la région de vitesse acoustique élevée dans une direction. Dans une vue en plan dans la direction de l'épaisseur, la surface de la région de faible vitesse acoustique est plus petite que la surface de la région de vitesse acoustique élevée. 圧電振動素子は、厚さ方向において重なる圧電片及び励振電極を備える圧電振動素子であって、高音速領域と、高音速領域よりも音速が小さい低音速領域とを有し、厚さ方向での平面視において、高音速領域は、励振電極の中央部に重なる領域に設けられ、低音速領域は、励振電極の端部に重なる領域の少なくとも一部に設けられ、高音速領域の励振電極には、高音速領域の単位面積当たりの質量を低音速領域の単位面積当たりの質量よりも小さくする複数の孔部が形成されており、厚さ方向と交差する一方向において、低音速領域のうち高音速領域に隣接する部分の一方向における寸法は、高音速領域の一方向における寸法よりも小さく、厚さ方向での平面視において、低音速領域の面積は、高音速領域の面積よりも小さい。