COMPACT MEMS TWO-DIMENSIONAL MEMS SCANNING MIRROR ASSEMBLY DESIGN AND RELATED ASPECTS

• Main Author: HART, Robert H
• Format: Patent
• Language: English; French
• Published: 29.08.2024
• Subjects: DIAGNOSIS; HUMAN NECESSITIES; HYGIENE; IDENTIFICATION; MEASURING; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS; MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEARDIMENSIONS; MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS; OPTICS; PHYSICS; SURGERY; TESTING

A micro-electro-mechanical system, MEMS, two-dimensional scanning mirror assembly (310), the scanning mirror assembly having an optical design comprising a moveable MEMS scanning mirror having a reflective surface (334), a point light source (308a) for a light beam, a collimating lens assembly (516) configured to receive light from the light source and output a collimated light beam with an exit beam diameter above a threshold towards the reflective surface (334), and an objective lens assembly (510, 512) via which a collimated light beam reflected from the reflective surface exists the scanning mirror assembly. The reflective surface (334) is configured to reflect an incident collimated light beam to form a probe beam (312) which exits the mirror assembly as a telecentric beam (312) towards a telecentric image plane with a resolution better than a threshold for the telecentric beam resolution. The optics of the scanning mirror assembly are configured to provide a total track length, L, from the point light source to the telecentric image plane (700) less than 40mm. L'invention concerne un ensemble miroir de balayage bidimensionnel de système micro-électromécanique (aussi appelé MEMS, pour « micro-electro-mechanical system ») (310), l'ensemble miroir de balayage ayant une conception optique comprenant un miroir de balayage MEMS mobile ayant une surface réfléchissante (334), une source de lumière ponctuelle (308a) pour un faisceau lumineux, un ensemble lentille de collimation (516) conçu pour recevoir la lumière provenant de la source de lumière et délivrer en sortie un faisceau lumineux collimaté ayant un diamètre de faisceau de sortie au-dessus d'un seuil vers la surface réfléchissante (334), ainsi qu'un ensemble lentille objectif (510, 512) par l'intermédiaire duquel un faisceau lumineux collimaté réfléchi par la surface réfléchissante existe dans l'ensemble miroir de balayage. La surface réfléchissante (334) est conçue pour réfléchir un faisceau lumineux collimaté incident pour former un faisceau de sonde (312) qui sort de l'ensemble miroir sous la forme d'un faisceau télécentrique (312) vers un plan d'image télécentrique avec une résolution supérieure à un seuil pour la résolution de faisceau télécentrique. L'optique de l'ensemble miroir de balayage est conçue pour fournir une longueur de piste totale, L, de la source de lumière ponctuelle au plan d'image télécentrique (700) inférieur à 40 mm.