SENSOR ASSEMBLY

• Main Authors: AHLES, Marcus, KRAMER, Torsten, WINDEN, Andreas
• Format: Patent
• Language: English; French; German
• Published: 16.05.2024
• Subjects: MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICALDEVICES; MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY; PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING

Die Erfindung betrifft eine Sensoranordnung mit einem mikromechanischen Sensorelement und einem Glassockel. Das mikromechanische Sensorelement weist einen Körper, eine Kaverne und eine die Kaverne überspannende Membran auf. Körper, Kaverne und Membran bestehen aus einem Material. Der Glassockel weist eine Durchgangsöffnung auf. Das mikromechanische Sensorelement ist derart am Glassockel befestigt, dass die Kaverne mit der Durchgangsöffnung verbunden ist. Das mikromechanische Sensorelement weist in einem an den Glassockel angrenzenden Übergangsbereich eine Entlastungsstruktur auf. Die Entlastungsstruktur beinhaltet eine Ausnehmung des Körpers. Eine Geometrie der Entlastungsstruktur ist derart gewählt, dass eine mechanische Spannung zwischen Glassockel und Körper reduziert ist. The invention relates to a sensor assembly comprising a micromechanical sensor element and a glass base. The micromechanical sensor element has a body, a cavity, and a membrane spanning the cavity. The body, cavity and membrane consist of one material. The glass base has a through-opening. The micromechanical sensor element is attached to the glass base in such a way that the cavity is connected to the through-opening. The micromechanical sensor element has a relief structure in a transition region adjacent to the glass base. The relief structure contains a recess in the body. The geometry of the relief structure is selected so as to reduce mechanical stress between the glass base and the body. La présente invention se rapporte à un ensemble capteur comportant un élément capteur micromécanique et un socle en verre. L'élément capteur micromécanique comporte un corps, une cavité et une membrane recouvrant la cavité. Le corps, la cavité et la membrane sont réalisés dans un matériau. Le socle en verre présente une ouverture de passage. L'élément capteur micromécanique est fixé au socle en verre de telle manière que la cavité est reliée à l'ouverture de passage. L'élément capteur micromécanique présente une structure de décharge dans une zone de transition adjacente au socle en verre. La structure de décharge comporte un évidement du corps. La géométrie de la structure de décharge est choisie de telle manière qu'une tension mécanique est réduite entre le socle en verre et le corps.