PIEZOELECTRIC DEVICE

• Main Authors: SAWAMURA, Makoto, IKEUCHI, Shinsuke, NIWA, Ryosuke
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 27.07.2023
• Subjects: BASIC ELECTRONIC CIRCUITRY; ELECTRICITY; IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS

A piezoelectric device (101) comprises: a base part (10) having an opening (9); and a vibration layer (12) disposed on the upper side of the base part (10). The vibration layer (12) has a fixation part (41) fixed to the base part (10) and a membrane part (42) which is contiguous to the fixation part (41) and extends above the opening (9). The vibration layer (12) has a lower electrode layer (3) connected to the base part (10), a piezoelectric layer (4) disposed on the upper side of the lower electrode layer (3), and an upper electrode layer (5) disposed on the upper side of the piezoelectric layer (4). In at least a partial region of the membrane part (42), the upper electrode layer (5) and the lower electrode layer (3) sandwich the piezoelectric layer (4). The piezoelectric device (101) further comprises: a first pad electrode (31) disposed on the upper side of the upper electrode layer (5) so as to be electrically connected to the upper electrode layer (5); a second pad electrode disposed on the upper side of the lower electrode layer (3) so as to be electrically connected to the lower electrode layer (3) without the piezoelectric layer (4) therebetween: and a first conductor layer (35) disposed above the lower electrode layer (3) so as to be separated from the first pad electrode (31) and/or the second pad electrode. La présente divulgation concerne un dispositif piézoélectrique (101) qui comprend : une partie de base (10) ayant une ouverture (9) ; et une couche de vibration (12) disposée sur le côté supérieur de la partie de base (10). La couche de vibration (12) a une partie de fixation (41) fixée à la partie de base (10) et une partie de membrane (42) qui est contiguë à la partie de fixation (41) et s'étend au-dessus de l'ouverture (9). La couche de vibration (12) a une couche d'électrode inférieure (3) connectée à la partie de base (10), une couche piézoélectrique (4) disposée sur le côté supérieur de la couche d'électrode inférieure (3), et une couche d'électrode supérieure (5) disposée sur le côté supérieur de la couche piézoélectrique (4). Dans au moins une région partielle de la partie de membrane (42), la couche d'électrode supérieure (5) et la couche d'électrode inférieure (3) prennent en sandwich la couche piézoélectrique (4). Le dispositif piézoélectrique (101) comprend en outre : une première électrode de plot (31) disposée sur le côté supérieur de la couche d'électrode supérieure (5) de façon à être électriquement connectée à la couche d'électrode supérieure (5) ; une deuxième électrode de plot disposée sur le côté supérieur de la couche d'électrode inférieure (3) de façon à être électriquement connectée à la couche d'électrode inférieure (3) sans la couche piézoélectrique (4) entre celles-ci : et une première couche conductrice (35) disposée au-dessus de la couche d'électrode inférieure (3) de façon à être séparée de la première électrode de plot (31) et/ou de la deuxième électrode de plot. 圧電デバイス（１０１）は、開口部（９）を有する基部（１０）と、基部（１０）の上側に配置された振動層（１２）とを備える圧電デバイスであって、振動層（１２）は、基部（１０）に固定された固定部（４１）と、固定部（４１）に連なって開口部（９）の上方に延在するメンブレン部（４２）とを含み、振動層（１２）は、基部（１０）に接続された下部電極層（３）と、下部電極層（３）の上側に配置された圧電層（４）と、圧電層（４）の上側に配置された上部電極層（５）とを含み、メンブレン部（４２）の少なくとも一部の領域において、上部電極層（５）と下部電極層（３）とは、圧電層（４）を挟み込んでいる。さらに圧電デバイス（１０１）は、上部電極層（５）に電気的に接続するように上部電極層（５）の上側に配置された第１パッド電極（３１）と、圧電層（４）を介さずに下部電極層（３）に電気的に接続するように下部電極層（３）の上側に配置された第２パッド電極と、下部電極層（３）よりも上側において、第１パッド電極（３１）および前記第２パッド電極の少なくとも一方から離隔して配置された第１導体層（３５）とを備える。