ION EXTRACTION ASSEMBLY HAVING VARIABLE ELECTRODE THICKNESS FOR BEAM UNIFORMITY CONTROL

• Main Authors: LUBOMIRSKY, Dmitry, LIKHANSKII, Alexandre, HAYES, Alan V
• Format: Patent
• Language: English; French
• Published: 04.05.2023
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS; ELECTRICITY

An ion extraction assembly for an ion source is provided. The ion extraction assembly may include a plurality of electrodes, wherein the plurality of electrodes comprises: a plasma-facing electrode, arranged for coupling to a plasma chamber; and a substrate-facing electrode, disposed outside of the plasma-facing electrode. The at least one electrode of the plurality of electrodes may include a grid structure, defining a plurality of holes, wherein the at least one electrode has a non-uniform thickness, wherein a first grid thickness in a middle region of the at least one electrode is different than a second grid thickness, in an outer region of the at least one electrode. L'invention concerne un ensemble d'extraction d'ions pour une source d'ions. L'ensemble d'extraction d'ions peut comprendre une pluralité d'électrodes, la pluralité d'électrodes comprenant : une électrode faisant face au plasma, conçue pour être couplée à une chambre à plasma ; et une électrode faisant face au substrat, disposée à l'extérieur de l'électrode faisant face au plasma. L'au moins une électrode de la pluralité d'électrodes peut comprendre une structure de grille, définissant une pluralité de trous, ladite au moins une électrode ayant une épaisseur non uniforme, une première épaisseur de grille dans une région centrale de l'au moins une électrode étant différente d'une seconde épaisseur de grille, dans une région extérieure de l'au moins une électrode.