POSITION CONTROL DEVICE, POSITION CONTROL METHOD, POSITION CONTROL PROGRAM, AND BONDING DEVICE

• Main Author: SEYAMA, Kohei
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 21.07.2022
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; SEMICONDUCTOR DEVICES

This position control device comprises: a tool unit that performs an operation on a target object mounted on a stage; a first imaging unit that images a reference indicator which is set on the stage or the target object and that outputs a first image; a second imaging unit that images the reference indicator and that outputs a second image; a head unit that supports the tool unit, the first imaging unit, and the second imaging unit; a calculation unit that calculates three-dimensional coordinates of the reference indicator on the basis of a first indicator image which is an image of the reference indicator included in the first image, and a second indicator image which is an image of the reference indicator included in the second image; and a drive control unit that causes the tool unit to approach or retreat from the target object on the basis of the three-dimensional coordinates. Due to the above configuration, the position control device can realize precise three-dimensional coordinate measurement of the target object with respect to the head unit, and can shorten a lead time from the three-dimensional coordinate measurement of the target object to the execution of the operation. L'invention concerne un dispositif de commande de position comprenant : une unité d'outil qui effectue une opération sur un objet cible monté sur un étage ; une première unité d'imagerie qui image un indicateur de référence qui est défini sur l'étage ou l'objet cible et qui délivre en sortie une première image ; une seconde unité d'imagerie qui image l'indicateur de référence et qui délivre en sortie une seconde image ; une unité de tête qui supporte l'unité d'outil, la première unité d'imagerie et la seconde unité d'imagerie ; une unité de calcul qui calcule des coordonnées tridimensionnelles de l'indicateur de référence sur la base d'une première image d'indicateur qui est une image de l'indicateur de référence incluse dans la première image, et une seconde image d'indicateur qui est une image de l'indicateur de référence incluse dans la seconde image ; et une unité de commande d'entraînement qui amène l'unité d'outil à s'approcher ou à se retirer de l'objet cible sur la base des coordonnées tridimensionnelles. Du fait de la configuration ci-dessus, le dispositif de commande de position peut réaliser une mesure de coordonnées tridimensionnelles précise de l'objet cible par rapport à l'unité de tête, et peut raccourcir un temps de connexion à partir de la mesure de coordonnées tridimensionnelles de l'objet cible à l'exécution de l'opération. 位置制御装置は、ステージに載置された対象物に対して作業を行うツール部と、ステージまたは対象物に設定された基準指標を撮像して第１画像を出力する第１撮像ユニットと、基準指標を撮像して第２画像を出力する第２撮像ユニットと、ツール部、第１撮像ユニットおよび第２撮像ユニットを支持するヘッド部と、第１画像に写り込んだ基準指標の像である第１指標像と第２画像に写り込んだ基準指標の像である第２指標像に基づいて基準指標の三次元座標を算出する算出部と、三次元座標に基づいてツール部を対象物に対して接近または離隔させる駆動制御部とを備える。このような位置制御装置により、ヘッド部に対する対象物の精確な三次元座標計測を実現すると共に、対象物の三次元座標計測から作業の実行までのリードタイムを短縮することができる。