CHARGED PARTICLE BEAM DEVICE

• Main Authors: MIZUTANI Shunsuke, ABE Yusuke, NAKAMURA Yusuke, FUKUDA Muneyuki
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 13.01.2022
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS; ELECTRICITY

Provided is a charged particle beam device with which it is possible to impart a function of an energy filter even in a small BSE detector. This charged particle beam device is provided with a phosphor for converting charged particles produced by irradiating a sample with a charged particle beam into light, a detector for detecting light from the phosphor, a light guide element for guiding the light from the phosphor to the detector, a light amount adjuster for adjusting the amount of light received by the detector via the phosphor and the light guide element, and a control unit for controlling the light amount adjuster. L'invention concerne un dispositif à faisceau de particules chargées avec lequel il est possible de conférer une fonction de filtre d'énergie même dans un petit détecteur BSE. Ce dispositif à faisceau de particules chargées comprend un luminophore pour convertir des particules chargées produites par irradiation d'un échantillon avec un faisceau de particules chargées en lumière, un détecteur pour détecter la lumière provenant du luminophore, un élément de guidage de lumière pour guider la lumière du luminophore vers le détecteur, un dispositif de réglage de quantité de lumière pour ajuster la quantité de lumière reçue par le détecteur par l'intermédiaire du luminophore et de l'élément de guidage de lumière, et une unité de commande pour commander le dispositif de réglage de quantité de lumière. 小型のＢＳＥ検出器においてもエネルギーフィルタの機能を付与することができる荷電粒子線装置を提供する。この荷電粒子線装置は、荷電粒子線の試料への照射によって生じた荷電粒子を光に変換する蛍光体と、前記蛍光体からの光を検出する検出器と、前記光を前記蛍光体から前記検出器に導くための導光素子と、前記検出器が前記蛍光体及び前記導光素子を介して受光する光の光量を調整する光量調整器と、前記光量調整器を制御する制御部とを備える。