JOINED BODY AND ELECTROSTATIC CHUCK

• Main Authors: TANAKA Tomoo, ARAKAWA Ryuichi, YOSHIMOTO Osamu
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 30.12.2021
• Subjects: ARTIFICIAL STONE; BASIC ELECTRIC ELEMENTS; CEMENTS; CERAMICS; CHEMISTRY; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDINGMATERIALS; CONCRETE; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; LIME, MAGNESIA; MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; METALLURGY; PERFORMING OPERATIONS; REFRACTORIES; SEMICONDUCTOR DEVICES; SLAG; SOLDERING OR UNSOLDERING; TRANSPORTING; TREATMENT OF NATURAL STONE; WELDING; WORKING BY LASER BEAM

This joined body comprises a plate-form first member, a flat plate-form second member, and a joining part that is positioned between the first and second members and that joins the first and second members, wherein the joining part is provided with: a first joining layer that is formed from a first joining material and that is positioned on the first-member side; a second joining layer that is formed from a second joining material and that is positioned on the second-member side; and a flat plate-form metal layer that is positioned between the first and second joining layers and that has formed therein a plurality of holes that communicate with each other, the metal layer having a first joining material impregnation layer, which is positioned on the first-joining-layer side and in which the plurality of holes are impregnated with the first joining material, a second joining material impregnation layer, which is positioned on the second-joining-layer side and in which the plurality of holes are impregnated with the second joining material, and an empty-hole layer, which is positioned between the first and second joining material impregnation layers and in which the plurality of holes are empty. L'invention concerne un corps assemblé comprenant un premier élément en forme de plaque, un second élément en forme de plaque plate et une partie de jonction qui est positionnée entre les premier et second éléments et qui relie les premier et second éléments, la partie de jonction étant pourvue : d'une première couche de jonction qui est formée à partir d'un premier matériau de jonction et qui est positionnée sur le côté premier élément ; d'une seconde couche de jonction qui est formée à partir d'un second matériau de jonction et qui est positionnée sur le côté second élément ; et d'une couche métallique en forme de plaque plate qui est positionnée entre les première et seconde couches de jonction et à l'intérieur de laquelle est formée une pluralité de trous qui communiquent les uns avec les autres, la couche métallique ayant une couche d'imprégnation de premier matériau de jonction, qui est positionnée sur le côté première couche de jonction et dans laquelle la pluralité de trous sont imprégnés avec le premier matériau de jonction, une couche d'imprégnation de second matériau de jonction, qui est positionnée sur le côté seconde couche de jonction et dans laquelle la pluralité de trous sont imprégnés avec le second matériau de jonction et une couche de trous vides, qui est positionnée entre les couches d'imprégnation de premier et second matériaux de jonction et dans laquelle la pluralité de trous sont vides. 接合体は、板状の第１部材と、平板状の第２部材と、第１部材と第２部材との間に配置され、第１部材と第２部材とを接合する接合部と、を備える接合体であって、接合部は、第１接合材から成り、第１部材側に配置される第１接合層と、第２接合材から成り、第２部材側に配置される第２接合層と、第１接合層と第２接合層との間に配置され、互いに連通する複数の孔が形成された平板状の金属層であって、第１接合層側に配置され、第１接合材が複数の孔に含浸された第１接合材含浸層と、第２接合層側に配置され、第２接合材が複数の孔に含浸された第２接合材含浸層と、第１接合材含浸層と第２接合材含浸層との間に配置され、複数の孔が空である空孔層と、を有する金属層と、を備える。