PARTICLE MEASUREMENT DEVICE

• Main Authors: KONDO Sota, BANDO Kazuna, KONDO Kaoru, TABUCHI Takuya
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 01.07.2021
• Subjects: INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES; MEASURING; PHYSICS; TESTING

Provided is a particle measurement device in which irradiation light emitted by a light source is expanded by an expander in a shape satisfying the requirements of a diffractive optical element, converted into parallel light, and made to enter the diffractive optical element. The diffractive optical element shapes the irradiation light entering therein into a flat top beam in which the cross section in the focal position thereof has an elongate rectangle shape. The intensity distribution of light can be made substantially uniform in a detection area formed by the shaped irradiation light. L'invention concerne un dispositif de mesure de particules dans lequel une lumière d'irradiation émise par une source de lumière est expansée par un expanseur sous une forme satisfaisant les exigences d'un élément optique diffractif, convertie en une lumière parallèle, et amenée à entrer dans l'élément optique diffractif. L'élément optique diffractif met en forme la lumière d'irradiation entrant dans celui-ci selon un faisceau supérieur plat dans lequel la section transversale à la position de foyer de celui-ci possède une forme rectangulaire allongée. La distribution d'intensité de lumière peut être rendue sensiblement uniforme dans une zone de détection formée par la lumière d'irradiation mise en forme. エキスパンダが、光源が出射した照射光を回折光学素子の要求を満たす形状に拡大し、平行光にして回折光学素子に入射させる。回折光学素子が、入射した照射光をその焦点位置における断面が細長い矩形状をなすフラットトップビームに整形する。整形された照射光により形成される検出領域においては光の強度分布を略均一にできる。