HOLDER AND CHARGED PARTICLE BEAM DEVICE

• Main Author: HOSOYA, Kotaro
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 24.09.2020
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS; ELECTRICITY

Provided is a holder by which a bright-field image or a dark-field image of an object to be observed can be accurately obtained. The holder (HL) has a top member (HLt), a side member (HLs), and a bottom member (HLb). The top member (HLt) has a hole (TH1) for passing a charged particle beam, and a sample can be mounted in the hole (TH1). The bottom member (HLb) is provided so as to overlap the top member (HLt) in a plan view. The side member (HLs) is connected to a part of the top member (HLt) and a part of the bottom member (HLb) so that the top member (HLt) and the bottom member (HLb) are separated from each other in a cross-sectional view. An opening (OP) is a region surrounded by the top member (HLt), the side member (HLs), and the bottom member (HLb), and a scintillator (SC1) is provided in the opening (OP). L'invention concerne un support par lequel une image de champ lumineux ou une image de champ sombre d'un objet à observer peut être obtenue avec précision. Le support (HL) comporte un élément supérieur (HLt), un élément latéral (HLs) et un élément inférieur (HLb). L'élément supérieur (HLt) comporte un trou (TH1) pour faire passer un faisceau de particules chargées, et un échantillon peut être monté dans le trou (TH1). L'élément inférieur (HLb) est disposé de façon à chevaucher l'élément supérieur (HLt) dans une vue en plan. L'élément latéral (HLs) est relié à une partie de l'élément supérieur (HLt) et à une partie de l'élément inférieur (HLb)) de telle sorte que l'élément supérieur (HLt) et l'élément inférieur (HLb) sont séparés l'un de l'autre dans une vue en coupe transversale. Une ouverture (OP) est une région entourée par l'élément supérieur (HLt), l'élément latéral (HLs) et l'élément inférieur (HLb), et un scintillateur (SC1) est disposé dans l'ouverture (OP). 観察対象となる試料の明視野像または暗視野像が、精度よく得られるようなホルダを提供する。ホルダ（ＨＬ）は、上部材（ＨＬｔ）、側部材（ＨＬｓ）および底部材（ＨＬｂ）を有する。上部材（ＨＬｔ）は、荷電粒子線を通過させるための孔（ＴＨ１）を有し、且つ、孔（ＴＨ１）内において試料を搭載させることができる。底部材（ＨＬｂ）は、上部材（ＨＬｔ）と平面視において重なるように設けられている。側部材（ＨＬｓ）は、上部材（ＨＬｔ）および底部材（ＨＬｂ）が断面視において互いに離間するように、上部材（ＨＬｔ）の一部および底部材（ＨＬｂ）の一部に接続されている。開口部（ＯＰ）は、上部材（ＨＬｔ）、側部材（ＨＬｓ）および底部材（ＨＬｂ）に囲まれた領域であり、開口部（ＯＰ）内には、シンチレータ（ＳＣ１）が設けられている。