AQUEOUS ALKALINE PRE-TREATMENT SOLUTION FOR USE PRIOR TO DEPOSITION OF A PALLADIUM ACTIVATION LAYER, METHOD AND USE THEREOF

• Main Authors: BREMMERT, Stefanie, GERNHARD, Marius, GREGORIADES, Dr. Laurence John, WURDINGER, Kay
• Format: Patent
• Language: English; French
• Published: 25.06.2020
• Subjects: CHEMICAL SURFACE TREATMENT; CHEMISTRY; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATIONOR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY IONIMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; COATING METALLIC MATERIAL; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION INGENERAL; METALLURGY; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THESURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION

The invention relates to an aqueous alkaline pre-treatment solution for use prior to deposition of a palladium activation layer on a substrate in manufacturing an article with an integrated circuit and a method and use thereof, wherein the solution comprises: - at least one hydroxycarboxylic acid or salt thereof according to the general formula (I) [RCH2-(RCH)n-COO-]m Mm+ (I) wherein n is integer from 2 to 4 and m is 1 or 2, R is independently H or OH with proviso that at least one R is OH, and wherein Mm+ with m: 1 is hydrogen, ammonium or alkali metal; or Mm+ with m: 2 is earth alkali metal, - at least one polyoxyethylene sorbitan fatty acid ester, - at least one sulphonated fatty acid or a salt thereof. L'invention concerne une solution aqueuse alcaline de prétraitement destinée à être utilisée avant le dépôt d'une couche d'activation au palladium sur un substrat dans la fabrication d'un article avec un circuit intégré, ainsi qu'un procédé et une utilisation de celle-ci, la solution comprenant : - au moins un acide hydroxycarboxylique ou un sel de celui-ci selon la formule générale (I) [RCH2-(RCH)n-COO-]m Mm+ (I), n étant un nombre entier de 2 à 4 et m valant 1 ou 2, R étant indépendamment H ou OH à condition qu'au moins un R soit OH, et Mm+ avec m : 1 représentant hydrogène, ammonium ou métal alcalin ; ou Mm+ avec m : 2 étant un métal alcalino-terreux, - au moins un ester d'acide gras de polyoxyéthylène sorbitane, - au moins un acide gras sulfoné ou un sel de celui-ci.