LOCK DEVICE, LOCK SYSTEM, AND METHOD FOR OPERATING A LOCK DEVICE
Schleusenvorrichtung (68; 68a; 68b), insbesondere einer Vakuumschleusenvorrichtung, mit zumindest einer, insbesondere vakuumdicht verschließbaren, Schleusenkammer (10; 10a; 10b), aufweisend zumindest ein beweglich gelagertes Schleusenbetätigungselement (12; 12a; 12b), welches zumindest dazu vorgeseh...
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Format | Patent |
Language | English French German |
Published |
04.06.2020
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