LOCK DEVICE, LOCK SYSTEM, AND METHOD FOR OPERATING A LOCK DEVICE

Schleusenvorrichtung (68; 68a; 68b), insbesondere einer Vakuumschleusenvorrichtung, mit zumindest einer, insbesondere vakuumdicht verschließbaren, Schleusenkammer (10; 10a; 10b), aufweisend zumindest ein beweglich gelagertes Schleusenbetätigungselement (12; 12a; 12b), welches zumindest dazu vorgeseh...

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Main Authors BUECHEL, Arthur, BELLERI, Eligio
Format Patent
LanguageEnglish
French
German
Published 04.06.2020
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