PRESSURE SENSOR AND METHOD FOR MANUFACTURING PRESSURE SENSOR

• Main Author: NADA, Hideaki
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 30.01.2020
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; MEASURING; MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER,MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE; PHYSICS; SEMICONDUCTOR DEVICES; TESTING

[Problem] To improve the reliability of a pressure sensor with respect to stress, for a pressure sensor having a plurality of electrodes arranged with gaps therebetween. [Solution] A pressure sensor 1 comprises: a first insulating base material 7; a common electrode 9 formed so as to expand across a principal surface of the first insulating base material 7; a second insulating base material 15 disposed to face the principal surface of the first insulating base material 7; a plurality of TFTs 30 disposed so as to be laid out on a principal surface of the second insulating base material 15 and facing the common electrode 9; a plurality of individual electrodes 31 provided on principal surfaces of the plurality of TFTs 30 on the first insulating base material 7 side, with each individual electrode connecting to one TFT 30 or two or more adjacent TFTs 30; a plurality of pressure-sensitive layers 33 respectively formed on the plurality of individual electrodes 31; and a second insulating film 27 provided on the principal surfaces of the plurality of TFTs 30. The second insulating film 27 has a plurality of openings 27A where the plurality of individual electrodes 31 are exposed, and the pressure-sensitive layers 33 are respectively provided in these openings 27A. Le problème abordé par la présente invention est d'améliorer la fiabilité d'un capteur de pression par rapport à la contrainte, pour un capteur de pression comportant une pluralité d'électrodes agencées avec des espaces entre elles. La solution selon l'invention concerne un capteur de pression (1) qui comprend : un premier matériau de base isolant (7) ; une électrode commune (9) formée de façon à s'étendre sur toute une surface principale du premier matériau de base isolant (7) ; un deuxième matériau de base isolant (15) disposé de façon à faire face à la surface principale du premier matériau de base isolant (7) ; plusieurs TFT (30) disposés de manière à être agencés sur une surface principale du deuxième matériau de base isolant (15) et faisant face à l'électrode commune (9) ; plusieurs électrodes individuelles (31) disposées sur des surfaces principales des plusieurs TFT (30) du côté du premier matériau de base isolant (7), chaque électrode individuelle étant connectée à un TFT (30) ou à au moins deux TFT adjacents (30) ; plusieurs couches sensibles à la pression (33) formées respectivement sur les plusieurs électrodes individuelles (31) ; et un deuxième film isolant (27) disposé sur les surfaces principales des plusieurs TFT (30). Le deuxième film isolant (27) comporte plusieurs ouvertures (27A) où les plusieurs électrodes individuelles (31) sont exposées, et les couches sensibles à la pression (33) sont disposées respectivement dans ces ouvertures (27A). 【課題】　互いに隙間を空けて配置された複数の電極を有する圧力センサにおいて、圧力センサの応力に対する信頼性を向上させる。 【解決手段】　第１絶縁基材７と、第１絶縁基材７の主面に広がって形成された共通電極９と、第１絶縁基材７の主面に対向して配置された第２絶縁基材１５と、第２絶縁基材１５の主面に共通電極９に対向して敷き詰められたように設けられた複数のＴＦＴ３０と、複数のＴＦＴ３０の第１絶縁基材７側の主面に設けられ、１又は隣接する２以上のＴＦＴ３０に対して1つが接続する複数の個別電極３１と、複数の個別電極３１上にそれぞれ形成される複数の感圧層３３と、複数のＴＦＴ３０の主面の上に設けられた第２絶縁膜２７と、を備えた圧力センサ１において、　第２絶縁膜２７は、複数の個別電極３１を露出する複数の開口部２７Ａを有し、当該開口部２７Ａに感圧層３３がそれぞれ設けられている。