THREE-DIMENSIONAL MEASUREMENT DEVICE, SENSOR DEVICE FOR THREE-DIMENSIONAL MEASUREMENT, AND METHOD FOR PERFORMING CONTROL IN THREE-DIMENSIONAL MEASUREMENT DEVICE

• Main Authors: NAKATSUKA, Hitoshi, OKUNO, Motoharu
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 19.12.2019
• Subjects: MEASURING; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS; MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEARDIMENSIONS; PHYSICS; TESTING

This three-dimensional measurement device comprises: a light source and a lens for guiding light from the light source to a subject, a photomask that is disposed on the optical axis between the light source and lens and has a predetermined pattern formed thereon, a drive device for changing the position of at least one member from among the lens and photomask or changing an optical characteristic of the lens, and a control unit for controlling the drive device. When a first mode has been specified, the control unit fixes an image formation position for light/dark pattern light formed by the photomask at the position of the subject by fixing the position of said member or the optical characteristic of the lens. When a second mode has been specified, the control unit uses control for varying the position of the member or the optical characteristic of the lens to vary the image formation position for the light/dark pattern light such that the light/dark difference caused by the light/dark pattern light is smaller than in the first mode. La présente invention concerne un dispositif de mesure en trois dimensions comprenant : une source de lumière et une lentille servant à guider la lumière provenant de la source de lumière vers un sujet, un photomasque qui est disposé sur l'axe optique entre la source de lumière et la lentille et sur lequel est formé un motif prédéterminé, un dispositif d'entraînement servant à modifier la position d'au moins un élément parmi la lentille et le photomasque ou à modifier une caractéristique optique de la lentille, et une unité de commande servant à commander le dispositif d'entraînement. Quand un premier mode a été spécifié, l'unité de commande fixe une position de formation d'image pour une lumière de motif clair/obscur formée par le photomasque à la position du sujet par la fixation de la position dudit élément ou de la caractéristique optique de la lentille. Quand un second mode a été spécifié, l'unité de commande utilise une commande pour faire varier la position de l'élément ou la caractéristique optique de la lentille, afin de faire varier la position de formation d'image pour la lumière de motif clair/obscur, de façon que la différence clair/obscur provoquée par la lumière de motif clair/obscur soit plus petite que dans le premier mode. 三次元計測装置は、光源と、光源からの光を被写体に導くレンズと、光源とレンズとの間の光軸上に配置され、予め定められたパターンが形成されたフォトマスクと、レンズおよびフォトマスクの少なくとも一方の部材の位置またはレンズの光学特性を変化させる駆動装置と、駆動装置を制御する制御部とを備える。制御部は、第１のモードが指定されると、上記部材の位置またはレンズの光学特性を固定することによって、フォトマスクにより形成される濃淡パターン光の結像位置を被写体の位置に固定し、第２のモードが指定されると、上記部材の位置またはレンズの光学特性を変化させる制御によって、濃淡パターン光による濃淡差が第１のモードよりも小さくなるように、濃淡パターン光の結像位置を変化させる。