SEMICONDUCTOR OPTICAL SENSOR FOR VISIBLE AND ULTRAVIOLET LIGHT DETECTION AND CORRESPONDING MANUFACTURING PROCESS

• Main Author: DEL MONTE, Andrea
• Format: Patent
• Language: English; French
• Published: 20.06.2019
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; SEMICONDUCTOR DEVICES

A semiconductor optical sensor (1) is provided with: a substrate (2) integrating a plurality of photodetector active areas (4); and a CMOS layer stack (6) arranged on the substrate (2) and including a number of dielectric (6a) and conductive (6b) layers. UV conversion regions (10) are arranged above a number of first photodetector active areas (4) to convert UV light radiation into visible light radiation towards the first photodetector active areas (4), so that the first photodetector active areas (4) are designed to detect UV light radiation. In particular, the first photodetector active areas (4) are alternated to a number of second photodetector active areas (4), designed to detect visible light radiation, in an array (15) of photodetection units (16) of the optical sensor (1), defining a single image detection area (15'), sensitive to both UV and visible light radiation with a same spatial resolution. Un capteur optique à semi-conducteur (1) comprend : un substrat (2) intégrant une pluralité de zones actives de photodétecteur ; et un empilement de couches CMOS (6) disposé sur le substrat (2) et comprenant un certain nombre de couches diélectriques (6a) et conductrices (6b). Des régions de conversion UV (10) sont disposées au-dessus d'un certain nombre de premières zones actives de photodétecteur (4) pour convertir un rayonnement de lumière UV en un rayonnement de lumière visible en direction des premières zones actives de photodétecteur (4), de telle sorte que les premières zones actives de photodétecteur (4) sont conçues pour détecter un rayonnement de lumière UV. En particulier, les premières zones actives de photodétecteur (4) sont alternées avec un certain nombre de secondes zones actives de photodétecteur (4), conçues pour détecter un rayonnement de lumière visible, dans un réseau (15) d'unités de photodétection (16) du capteur optique (1), définissant une zone unique de détection d'image (15'), sensible à la fois à un rayonnement de lumière UV et visible ayant une même résolution spatiale.