SOLID IMMERSION LENS HOLDER AND IMAGE ACQUISITION DEVICE

• Main Authors: TERADA HIROTOSHI, ARATA IKUO, IKESU MASATAKA
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 31.03.2016
• Subjects: OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS; OPTICS; PHYSICS

A solid immersion lens holder 8 is provided with: a first member 70 comprising a first opening 71 that has a spherical section 6a arranged therein such that a part of the spherical section 6a protrudes toward an objective lens 21 side; and a second member 80 comprising a second opening 87 that has a contact section 6d arranged therein such that a contact surface 6f protrudes toward the side opposite from the objective lens 21 side. The first member 70 comprises three plate members 93 arranged on the objective lens 21 side of the first opening 71. A protruding section 73 configured so as to be capable of contact with the spherical section 6a is provided to each of the three plate members 93. Le support de lentille à immersion solide (8) de l'invention est équipé : d'un premier élément (70) qui possède une première ouverture (71) dans la partie interne de laquelle est disposée une partie à surface sphérique (6a) de sorte qu'une partie de la partie à surface sphérique (6a) forme une saillie du côté d'un objectif (21) ; et d'un second élément (80) qui possède une seconde ouverture (87) dans la partie interne de laquelle est disposée une partie contact (6d) de sorte qu'une face de contact (6f) forme une saillie côté opposé à l'objectif (21). Le premier élément (70) possède trois éléments plaque (93) disposés côté objectif (21) de la première ouverture (71). Une partie saillie (73) configurée de manière à venir en contact avec la partie à surface sphérique (6a), est agencée sur chacun des trois éléments plaque (93). 　固浸レンズホルダ８は、球面部６ａの一部が対物レンズ２１側へ突出するように球面部６ａを内部に配置する第１の開口７１を有する第１の部材７０と、当接面６ｆが対物レンズ２１側とは反対側へ突出するように当接部６ｄを内部に配置する第２の開口８７を有する第２の部材８０と、を備える。第１の部材７０は、第１の開口７１の対物レンズ２１側に配置された３つの板部材９３を有している。３つの板部材９３のそれぞれには、球面部６ａと接触可能に構成された突出部７３が設けられている。